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上海微電子實現(xiàn)22nm光刻機的研發(fā)

發(fā)表時間:2020-08-17瀏覽量:2699

在我國對半導(dǎo)體材料的要求超出全世界三分之一,19年單是集成化芯片進口額度就超出3000億美元,根據(jù)所述數(shù)據(jù)信息不會太難發(fā)覺,在我國半導(dǎo)體材料市場容量十分大,但為什么中國沒有半導(dǎo)體材料生產(chǎn)商站出去搶占市場?緣故非常簡單,我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展比較晚,就硬實力來講,各生產(chǎn)商屬于力不從心。就算是內(nèi)地技術(shù)*秀...
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在我國對半導(dǎo)體材料的要求超出全世界三分之一,19年單是集成化芯片進口額度就超出3000億美元,根據(jù)所述數(shù)據(jù)信息不會太難發(fā)覺,在我國半導(dǎo)體材料市場容量十分大,但為什么中國沒有半導(dǎo)體材料生產(chǎn)商站出去搶占市場?緣故非常簡單,我國芯片產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展比較晚,就硬實力來講,各生產(chǎn)商屬于力不從心。

就算是內(nèi)地技術(shù)*秀的中芯,芯片制造加工工藝也不過是滯留在14nm環(huán)節(jié),并且由于沒有高端光刻機扶持的原因,將來中芯工藝提升總是越來越難。但是,近期上海微電子傳來一個喜訊。據(jù)了解,上海微電子選用紫外線源完成28nm加工工藝,促使國產(chǎn)光刻機技術(shù)性邁入重大進展。

要了解現(xiàn)階段*秀的EUV光刻技術(shù)還是選用13.5nm光波長技術(shù),而22nm技術(shù)則是13.5nm技術(shù)性以后,*秀的光刻機技術(shù)性。上海微電子也憑此技術(shù)跨越眾多日本國光刻機生產(chǎn)商,變成僅次ASML的第二大光刻機企業(yè)。此成效也向全球證實,光刻機技術(shù)性強大的并不僅有ASML。

假如上海微電子所研發(fā)的此項技術(shù)平穩(wěn),可以完成規(guī)模生產(chǎn),那麼對中國芯片加工制造業(yè)的發(fā)展趨勢毫無疑問將具有極大協(xié)助。擁有國產(chǎn)光刻機機器設(shè)備,美國就沒法隨便運用封禁芯片加工廠,在我國芯片自力更生能力可能大幅度提高。乃至很有可能,我國搖身一變從芯片進口強國變?yōu)槌隹趶妵?/p>

自然,國產(chǎn)光刻機的興起也并不是一朝一夕,上海微電子現(xiàn)階段僅僅完成了該加工工藝,具體運用怎樣還需進一步明確。并且,就算*上海微電子取得成功造出22nm光刻機,但還要認(rèn)知到,在我國高端光刻機品質(zhì)與ASML光刻技術(shù)品質(zhì)對比,依然擁有很大差別。

到了現(xiàn)在,就越發(fā)覺光刻機技術(shù)要求越來越高,要想在更多方面完成技術(shù)提升,便會越來越艱難。自然,綜合看來,上海微電子完成22nm光刻機的研發(fā)對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及其芯片制造商來講,全是激勵人心的喜訊。上海微電子也為別的公司在開展技術(shù)提升時,開了一個好頭。


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